Вафель аз кремнийи холис (Si) сохта шудааст.Умуман ба мушаххасоти 6-дюйма, 8-дюйма ва 12-дюйма тақсим карда мешавад, вафли дар асоси ин вафли истеҳсол карда мешавад.Вафли кремний, ки аз нимноқилҳои тозаи баланд тавассути равандҳо ба монанди кашидани кристалл ва буридан тайёр карда мешаванд, вафли бека номида мешаванд.истифода мебаранд, ки шакли мудаввар доранд.Сохторҳои гуногуни элементҳои схемаҳо метавонанд дар вафли кремний коркард карда шаванд, то маҳсулоти дорои хосиятҳои электрикии мушаххас шаванд.маҳсулоти функсионалии микросхемаҳои интегралӣ.Вафельҳо як қатор равандҳои истеҳсоли нимноқилҳоро мегузаранд, то сохторҳои хеле хурди схемаҳоро ташкил кунанд ва сипас бурида, бастабандӣ ва ба микросхемаҳо, ки дар дастгоҳҳои гуногуни электронӣ васеъ истифода мешаванд, санҷида мешаванд.Маводҳои вафли зиёда аз 60 соли таҳаввулоти технологӣ ва рушди саноатиро аз сар гузаронида, як вазъияти саноатиро ташкил медиҳанд, ки дар он кремний ҳукмфармост ва бо маводи нави нимноқилӣ пурра карда шудааст.
80% телефонҳои мобилӣ ва компютерҳои ҷаҳон дар Чин истеҳсол карда мешаванд.Чин барои 95% чипҳои баландсифати худ ба воридот такя мекунад, аз ин рӯ Чин ҳар сол барои воридоти чипҳо 220 миллиард доллар сарф мекунад, ки ду маротиба аз воридоти солонаи нафти Чин аст.Ҳама таҷҳизот ва маводҳои марбут ба мошинҳои фотолитография ва истеҳсоли чипҳо, аз қабили пластинкаҳо, металлҳои тоза, мошинҳои кандакорӣ ва ғ.
Имрӯз мо ба таври мухтасар дар бораи принсипи нест кардани нурҳои ултрабунафш аз мошинҳои пластинка гап мезанем.Ҳангоми навиштани маълумот ба дарвозаи шинокунанда зарядро бо роҳи ба дарвоза андохтани VPP-и баландшиддати барқ, тавре ки дар расми зер нишон дода шудааст, ворид кардан лозим аст.Азбаски заряди воридшуда энергияи ворид шудан ба девори энергетикии плёнкаи оксиди кремний надорад, он метавонад танҳо ҳолати кворо нигоҳ дорад, бинобар ин мо бояд ба заряд миқдори муайяни энергия диҳем!Ин аст, ки нури ултрабунафш лозим аст.
Вақте ки дарвозаи шинокунанда шуоъҳои ултрабунафшро мегирад, электронҳои дарвозаи шинокунанда энергияи квантҳои нури ултрабунафшро мегиранд ва электронҳо ба электронҳои гарм бо энергия табдил меёбанд, то ба девори энергетикии плёнкаи оксиди кремний ворид шаванд.Тавре ки дар расм нишон дода шудааст, электронҳои гарм ба қабати оксиди кремний ворид шуда, ба субстрат ва дарвоза ҷорӣ мешаванд ва ба ҳолати тозашуда бармегарданд.Амалиёти тозакунӣ танҳо тавассути гирифтани радиатсияи ултрабунафш анҷом дода мешавад ва онро ба таври электронӣ тоза кардан мумкин нест.Ба ибораи дигар, шумораи битҳоро танҳо аз "1" ба "0" ва дар самти муқобил иваз кардан мумкин аст.Ба ҷуз аз нест кардани тамоми мундариҷаи чип, роҳи дигаре нест.
Мо медонем, ки энергияи рӯшноӣ ба дарозии мавҷи рӯшноӣ баръакс мутаносиб аст.Барои он ки электронҳо ба электронҳои гарм табдил ёбанд ва ба ин васила энергияи ба қабати оксиди гузаранда дошта бошанд, шуоъдиҳии рӯшноӣ бо дарозии кӯтоҳтар, яъне шуоҳои ултрабунафш хеле зарур аст.Азбаски вақти тозакунӣ аз шумораи фотонҳо вобаста аст, вақти тозакуниро ҳатто дар дарозии мавҷҳои кӯтоҳтар кӯтоҳ кардан мумкин нест.Умуман, тозакунӣ вақте оғоз мешавад, ки дарозии мавҷ тақрибан 4000А (400 нм) аст.Он асосан ба торикии тақрибан 3000А мерасад.Дар зери 3000А, ҳатто агар дарозии мавҷ кӯтоҳтар бошад ҳам, он ба вақти тозакунӣ ҳеҷ гуна таъсире нахоҳад дошт.
Стандарт барои нест кардани ултрабунафш одатан қабули нурҳои ултрабунафш бо дарозии мавҷи дақиқи 253,7 нм ва шиддатнокии ≥16000 μ Вт/см² мебошад.Амалиёти тозакунӣ метавонад бо вақти экспозиция аз 30 дақиқа то 3 соат анҷом дода шавад.
Вақти интишор: Декабр-22-2023